광학 측정은 CCD 이미지에서 구조 강도 정보를 이용하여 폭을 계산 할 수 있는 정확하고 빠른 비접촉식 측정 기술 입니다.
아래 왼쪽 그림은 추출의 원리를 간략하게 보여줍니다. 보라색 사각형 ROI 상자는 측정이 필요한 부분을 나타냅니다.
강도 분포도는 통계 광자 노이즈 또는 광학 회 절 효과로 인한 변형과 같은 노이즈 또는 변형으로 부터 보호하기 위해
추가 작업이 필요합니다. TZTEK측정 시스템은 이러한 간섭을 제거할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다.
TZTEK 시스템은 0.7㎛ 미만의 UV조명(365㎚)을 사용할 수 있습니다.

특히 마이크로미터 일렉트로닉스 분야에서 TZTEK은 매우 복잡하게 배열된 라인 및 공간 레이아웃, 마스크의 점, 구멍 및 기타 특정 메모리 구조와 같은 특정 레이아웃으로 구조물의 측정을 지원하는 매우 유용한 옵션을 개발했습니다.
CD 측정에서 TZTEK의 높은 정확도와 성능은 고품질 광학, 및 TZTEK의 소프트웨어와 결합된 최적의 레이저 자동 초점 시스템으로 완성됩니다.
TZTEK은 고객에게 맞춤형 솔루션을 제공함으로써 측정 시스템 분야에서 업계를 선도하고 있습니다.

제품

전형적인 응용

• CD 측정
• 오버레이 측정

주요특징

• 로봇 웨이퍼 핸들링
• KLARF/TSK 파일 출력 지원
• 가시광선, 자외선
• SECS/젬
• 200/300mm 웨이퍼 지원

전형적인 응용

• CD 측정
• 결함 감지
• 오버레이 측정
• 결함 검토
• 필름 두께 측정

주요특징

• 수동 로딩 및 언로딩
• KLARF/TSK 파일 출력 지원
• 가시광선, 자외선
• SECS/젬
• 75-200mm 웨이퍼 지원

전형적인 응용

• CD 측정
• 결함 감지
• 오버레이 측정
• 결함 검토
• 필름 두께 측정

주요특징

• 로봇 웨이퍼 핸들링
• KLARF/TSK 파일 출력 지원
• 가시광선, 자외선
• SECS/젬
• 200/300mm 웨이퍼 지원