Overlay는 제품의 윗면과 아랫면을 정렬하는 것이며 Overlay 오차는 두 면 간의 옵셋을 의미합니다. Overlay 측정은
서로 다른 두 구조에서 측정되는데 이 두 구조는 서로 다른 제조 공정에서 생성되며, 서로 다른 재료로 구성됩니다.
Overlay 측정의 일반적인 특성 구조는 Box-in-Box입니다. 정확한 측정을 위해 소프트웨어는 제품의 내부 및 외부 Box의 중심위치와 경계를 인식해야 합니다. 이 과정은 Muetec 소프트웨어에서 마우스 클릭 한번으로 지원됩니다.
아래 왼쪽 그림과 같이 Muetec 시스템은 Box-in-Box 구조 외에도 Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle,
Cross-in-Cross 또는 기타 사용자 지정 Overlay 구조를 측정 할 수 있습니다.

TZTEK은 이러한 중요한 문제를 해결하기 위해 수십 년 동안 노력해 왔습니다. 그 결과 사용자 중심의 Overlay 측정 도구, 최고의 정확도와 생산성, 최고의 반복성 및 자동화 그리고 가장 낮은 TIS를 제공합니다.

제품

전형적인 응용

• CD 측정
• 오버레이 측정

주요특징

• 로봇 웨이퍼 핸들링
• KLARF/TSK 파일 출력 지원
• 가시광선, 자외선
• SECS/젬
• 200/300mm 웨이퍼 지원

전형적인 응용

• CD 측정
• 결함 감지
• 오버레이 측정
• 결함 검토
• 필름 두께 측정

주요특징

• 수동 로딩 및 언로딩
• KLARF/TSK 파일 출력 지원
• 가시광선, 자외선
• SECS/젬
• 75-200mm 웨이퍼 지원

전형적인 응용

• CD 측정
• 결함 감지
• 오버레이 측정
• 결함 검토
• 필름 두께 측정

주요특징

• 로봇 웨이퍼 핸들링
• KLARF/TSK 파일 출력 지원
• 가시광선, 자외선
• SECS/젬
• 200/300mm 웨이퍼 지원